Methoden und Werkzeuge für die Konzeption und den Entwurf mikrotechnisch herstellbarer elektromechanischer Schaltrelais mit elektrostatischem Antrieb

Description

Techn. Universiẗat, Diss., 2002--Berlin.

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1. http://edocs.tu-berlin.de/diss/2002/dainat_jan.pdf
2. http://edocs.tu-berlin.de/diss/2002/dainat_jan.htm
3. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=966492439

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/175173540
Creators	Dainat, Jan.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German