Entwicklung von mikromechanischen Schaltern für neuartige MEMS-Produkte unter Aspekten industrieller Fertigungsprozesse

Description

Universiẗat, Diss., 2001--Bremen.

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1. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=963482580
2. http://elib.suub.uni-bremen.de/publications/dissertations/E-Diss210_michaelis.pdf

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/174880421
Creators	Michaelis, Sven.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Type	Online-Publikation.