Entwicklung von mikromechanischen Schaltern für neuartige MEMS-Produkte unter Aspekten industrieller Fertigungsprozesse

Description

Bremen, Univ., Diss., 2001. / Computerdatei im Fernzugriff.

Links & Downloads

1. http://elib.suub.uni-bremen.de/publications/dissertations/E-Diss210_michaelis.pdf
2. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=963482580

Tags

Mikromechanik

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/638367532
Date	January 2001
Creators	Michaelis, Sven.
Publisher	[S.l.] : [s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	Undetermined
Detected Language	German