Étude d'un système planaire de gravure de couches minces par plasma réactif pour la fabrication de microcircuits.

Description

Th. 3e cycle--Électronique et radiocommunications--Grenoble--I.N.P., 1980. N°: D3 97.

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1. http://catalogue.bnf.fr/ark:/12148/cb36090897g

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/464933211
Date	January 1900
Creators	Laporte, Philippe,
Publisher	[S.l. : s.n.,
Source Sets	OCLC
Language	French
Detected Language	French