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Etude de caractérisation de matériaux diélectriques de grille à forte permittivité pour les technologies CMOS ultimes

Thèse doctorat : Dispositifs de l'Electronique Intégrée : INSA LYON : 2003. / Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr. p. 185-204.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/492971524
Date January 2004
CreatorsChang, Youjean Ducroquet, Frédérique.
PublisherVilleurbanne : Doc'INSA,
Source SetsOCLC
LanguageFrench
Detected LanguageFrench

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