Membran- und Struktur-Ätzprozesse für grossflächige Projektionsmasken in der Nanolithografie /

Description

Stuttgart, Universiẗat, Diss., 2003 (Nicht für den Austausch).

Links & Downloads

1. http://www.bsz-bw.de/cgi-bin/xvms.cgi?SWB10767933

Tags

Nanolithographie

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/76548075
Date	January 2003
Creators	Letzkus, Florian.
Publisher	[S.l. : s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German