To obtain spectra of a light emitting substrate during the deposition of Terbium
(Tb) doped thin films by RF magnetron sputtering, an optomechanical
device is developed, constructed and tested.
The device is required to enable spatial scans of the substrate plane and
the plasma beneath. Thereby, measurements of spatial emission intensity
distribution and a separation of the Tb spectrum from the plasma-overlain
substrate spectrum shall be possible.
After an introduction into theoretical and practical boundary conditions, the
system’s requirements are specified, followed by a brief investigation of existing
solutions for similar problems.
A basic optical prototype system is introduced and analysed. After a discussion
and evaluation of part solutions, an optomechanical system is developed,
constructed, analysed and compared to the prototype system. / Zur spektralen Analyse eines lichtemittierenden Substrates während des Beschichtungsprozesses
von Terbium (Tb)-dotierten Dünnfilmen durch RF Magnetronsputtern
wird ein optomechanisches Gerät entwickelt, konstruiert und getestet.
Das Gerät soll räumliche Scans der Substratoberfläche und dem, sich darunter
befindenden, Plasma ermöglichen. Räumliche Verteilungen der Emissionsintensit
ät sollen dadurch messbar- und das Tb-Spektrum von dem plasmaüberlagerten
Substratspektrum trennbar gemacht werden.
Nach einer Einführung in die theoretischen- und praktischen Rahmenbedingungen
erfolgt die Präzisierung der Aufgabenstellung und eine kurze Recherche
zu bereits vorhandenen Lösungen von ähnlichen Problemen.
Ein Prototyp wird vorgestellt und geprüft. Nach der Diskussion und Evaluierung
von Teillösungen wird ein optomechanisches System entwickelt, konstruiert,
analysiert und mit dem Prototyp verglichen. / Tesis
| Identifer | oai:union.ndltd.org:PUCP/oai:tesis.pucp.edu.pe:123456789/9320 |
| Date | 06 September 2017 |
| Creators | Andreas Lich, Julian |
| Contributors | Theska, René, Weingärtner, Roland |
| Publisher | Pontificia Universidad Católica del Perú |
| Source Sets | Pontificia Universidad Católica del Perú |
| Language | English |
| Detected Language | English |
| Type | info:eu-repo/semantics/masterThesis |
| Format | application/pdf |
| Source | Pontificia Universidad Católica del Perú, Repositorio de Tesis - PUCP |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess, Atribución-NoComercial-SinDerivadas 2.5 Perú, http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/2.5/pe/ |
Page generated in 0.0057 seconds