Abscheidung und Charakterisierung von PECVD-Aluminiumoxidschichten

Description

Techn. Hochsch., Diss., 2003--Aachen.

Links & Downloads

1. http://sylvester.bth.rwth-aachen.de/dissertationen/2004/191/index.htm
2. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=97277677X
3. http://sylvester.bth.rwth-aachen.de/dissertationen/2004/191/04_191.pdf

Tags

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/179012397
Creators	Kyrylov, Oleksandr.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Type	Online-Publikation.