Caractérisation, modèlisation et synthèse de films minces de nitrure de bore (BN) par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)

Description

Thèse de doctorat : Physique : Plasma, Optique et Matériaux : Metz : 2006. / Thèse soutenue sur ensemble de travaux. Bibliogr. p. 73-[74], 126. Annexes p. 131-[154].

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1. ftp://ftp.scd.univ-metz.fr/pub/Theses/2006/Eliaoui.Mourad.SMZ0605.pdf

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/494490149
Date	January 2006
Creators	Eliaoui, Morad Bath, Armand. Ahaitouf, Ali.
Publisher	[S.l.] : [s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	French
Detected Language	French