Konzept eines hebelarmverstärkten Probennanopositioniersystems mit piezoelektrisch/hydraulischem Hybridantrieb und aktiver Kompensation mechanischer und thermischer Störgrössen

Description

Zugl.: Wuppertal, Univ., Diss., 2008

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1. http://d-nb.info/994475934/04

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/416455900
Date	January 2008
Creators	Dworak, Volker
Publisher	Göttingen Sierke
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German