Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD

Description

Orientador : Edmundo da Silva Braga / Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação / Made available in DSpace on 2018-07-28T21:27:18Z (GMT). No. of bitstreams: 1
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Previous issue date: 2001 / Doutorado

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1. (Broch.)
2. BALACHOVA, Olga Viatcheslavovna. Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD. 2001. 92p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/260247>. Acesso em: 28 jul. 2018.
3. http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/260247

Tags

Semicondutores amorfos

Membranas (Tecnologia)

Medidas elétricas

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Identifer	oai:union.ndltd.org:IBICT/oai:repositorio.unicamp.br:REPOSIP/260247
Date	28 July 2018
Creators	Balachova, Olga Viatcheslavovna
Contributors	UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS, Braga, Edmundo da Silva, 1945-
Publisher	[s.n.], Universidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação
Source Sets	IBICT Brazilian ETDs
Language	Portuguese
Detected Language	Portuguese
Type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/doctoralThesis
Format	92p. : il., application/pdf
Source	reponame:Repositório Institucional da Unicamp, instname:Universidade Estadual de Campinas, instacron:UNICAMP
Rights	info:eu-repo/semantics/openAccess