Revêtements minces Zn-Si-O et Ti-Si-O élaboration au moyen d'un procédé plasma hybride pulvérisation cathodique-PECVD et caractérisation /

Description

Thèse de doctorat : Science et ingénierie des matériaux : INPL : 2006. / Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr.

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1. http://www.scd.inpl-nancy.fr/theses/2006_DANIEL_A.pdf

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/494206247
Date	January 2006
Creators	Daniel, Alain Belmonte, Thierry
Publisher	S. l. : S. n.,
Source Sets	OCLC
Language	French
Detected Language	French