Design und Realisierung eines elektrostatischen Mikrorelais in Oberflächen-Mikromechanik

Description

Techn. Universiẗat, Diss., 2004--Berlin.

Links & Downloads

1. http://edocs.tu-berlin.de/diss/2004/thielicke_ernst.pdf
2. http://edocs.tu-berlin.de/diss/2004/thielicke_ernst.htm
3. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=972215271

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/177296189
Creators	Thielicke, Ernst.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German