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Untersuchung der Ausfallmechanismen in ferroelektrischen PZT-Dünnschichten zur Verwendung in Speicherkondensatoren /

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/180744975
Date January 2007
CreatorsSchorn, Peter Jörg.
PublisherAachen : Shaker,
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman

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