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Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie

Heidelberg, Univ., Diss., 2004. / Computerdatei im Fernzugriff.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/637433461
Date January 1900
CreatorsPatzner, Patrik.
Publisher[S.l.] : [s.n.],
Source SetsOCLC
LanguageUndetermined
Detected LanguageGerman

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