Return to search

Hloubkové profilování multivrstev metodou LEIS / Depth profiling of multilayers by LEIS

Diplomová práce se zabývá vytvořením modelu, který by umožnil lepší interpretaci hloubkových profilů měřených metodou LEIS. Obtížnost interpretace těchto profilů je dána vysokým podílem vícenásobně odražených projektilů v meřených spektrech. Tyto projektily nepřináší užitečnou informaci z dané hloubky. Naproti tomu jednonásobně odražené projektily nesou přesnější informaci o složení a tloušťce vrstev. V této práci vytvořený model se snaží určit příspěvek jednonásobně odražených částic k celkovému tvaru spektra a na základě něj i hloubkový profil vzorku.

Identiferoai:union.ndltd.org:nusl.cz/oai:invenio.nusl.cz:402576
Date January 2019
CreatorsStrapko, Tomáš
ContributorsDuda, Radek, Bábor, Petr
PublisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Source SetsCzech ETDs
LanguageEnglish
Detected LanguageUnknown
Typeinfo:eu-repo/semantics/masterThesis
Rightsinfo:eu-repo/semantics/restrictedAccess

Page generated in 0.0021 seconds