Etude de la résolution en profondeur lors de l'analyse par spectrométrie de masse des ions secondaires détermination de la fonction de résolution pour le bore dans le silicium, mise au point d'une procédure de déconvolution et applications /

Description

Thèse doctorat : Dispositifs de l'Electronique Intégrée : Villeurbanne, INSA : 1997. / Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr. p. 222-231.

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1. http://docinsa.insa-lyon.fr/these/pont.php?id=gautier

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/491777809
Date	January 1999
Creators	Gautier, Brice. Dupuy, Jean-Claude
Publisher	Villeurbanne : Doc'INSA,
Source Sets	OCLC
Language	French
Detected Language	French