Caractérisation par spectrométrie de masse des ions secondaires des zones actives du CMOS ultime étude de la rugosité en fond du cratère et ses conséquences sur la vitesse d'érosion et sur la résolution en profondeur /

Description

Thèse doctorat : Dispositifs de l'Electronique Intégrée : Villeurbanne, INSA : 2004. / Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr. à la fin de chaque chapitre.

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1. http://docinsa.insa-lyon.fr/these/pont.php?id=fares

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/493176179
Date	January 2005
Creators	Fares, Boubker Dupuy, Jean-Claude
Publisher	[S.l.] : [s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	French
Detected Language	French