Return to search

Návrh a simulace čipu mikrobolometru v MEMS technologii / Design and Simulation of Micro-Bolometer in MEMS Technology

Tato diplomová práce zkoumá problematiku detektoru infračerveného záření nazývaného bolometr. Cílem je pokrok v detekci infračerveného záření použitím odlišné absorpční vrstvy modifikovanou karbonovými nanotrubicemi. V teoretické části jsou uvedeny základní fyzikální pojmy z problematiky teplotního managmentu a základních fyzikálních vztahů bolometru. Design bolometru je představen a popsán. Teplotně mechanické simulace předvídají chování bolometru při detekci infračerveného záření. PSpice model je vytvořen a kombinuje termální a elektrické vlastnosti čipu bolometru. Dále je uveden proces výroby bolometru, které je detailně popsán.

Identiferoai:union.ndltd.org:nusl.cz/oai:invenio.nusl.cz:221020
Date January 2014
CreatorsSvatoš, Vojtěch
ContributorsPekárek, Jan, Hubálek, Jaromír
PublisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Source SetsCzech ETDs
LanguageEnglish
Detected LanguageUnknown
Typeinfo:eu-repo/semantics/masterThesis
Rightsinfo:eu-repo/semantics/restrictedAccess

Page generated in 0.0017 seconds