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Elaboration et caractérisation de films minces de Ta2 O5 pour la réalisation de structures capacitives intégrées sur silicium

Thèse de doctorat : Dispositifs de l'Electronique Intégrée : Villeurbanne, INSA : 2000. / Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr. p.159-174.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/492329746
Date January 2000
CreatorsFour, Sandrine. Autran, Jean-Luc
Publisher[S.l.] : [s.n.],
Source SetsOCLC
LanguageFrench
Detected LanguageFrench

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