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Poröses Silizium als Basistechnologie für mechanisch stabile thermisch entkoppelte Membranen /

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/180941364
Date January 2006
CreatorsFeyh, Ando Lars.
PublisherNürnberg : AFO-Verl.,
Source SetsOCLC
LanguageUndetermined
Detected LanguageGerman

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