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Herstellung und Modifizierung heteroepitaktischer Oxidschichten auf Si

Zugl.: Augsburg, Univ., Diss., 2005

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/181499437
Date January 2005
CreatorsGoldfuss, Johannes
PublisherBerlin VWF
Source SetsOCLC
LanguageUndetermined
Detected LanguageGerman

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