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Untersuchung der Strahlungscharakteristik eines resonant mikrowellengeheizten Plasmas im Vakuum-UV

Techn. Universiẗat, Diss., 2001--Berlin.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/614970910
CreatorsGrübling, Peter.
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman
TypeOnline-Publikation.

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