Le bombardement par des faisceaux d'atomes ou de molécules neutres (Ar, N$_2$ et N$_2$O) de cibles solides (silicium et silice) placées dans différents environnements gazeux (h$_2$, O$_2$, H$_2$O, N$_2$O, N$_2$) conduit à l'éjection d'atomes et d'agrégats pouvant être constitués d'atomes de la cible, du projectile incident et/ou de l'environnement gazeux. L'étude de diverses familles d'agrégats nous a permis de mettre en évidence l'influence, sur la production des différentes espèces pulvérisées, de la nature chimique des éléments mis en jeu et de la manière dont ceux ci sont apportés. La distribution en taille des agrégats Si$_n^+$ et (SiO$_2)_n^+$, (1$
| Identifer | oai:union.ndltd.org:CCSD/oai:tel.archives-ouvertes.fr:tel-00007701 |
| Date | 07 September 2000 |
| Creators | Guillermier, Christelle |
| Publisher | Université Claude Bernard - Lyon I |
| Source Sets | CCSD theses-EN-ligne, France |
| Language | French |
| Detected Language | French |
| Type | PhD thesis |
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