Les travaux de recherche présentés dans ce mémoire s'inscrivent dans le cadre du<br />développement d'une filière technologique flexible pour la réalisation de nouvelles fonctions de<br />puissance intégrées, basées sur le mode d'intégration fonctionnelle. La fonctionnalité et les<br />caractéristiques électriques de ces dispositifs dépendent non seulement de la topologie et des<br />différentes connexions réalisées en surface mais également des caractéristiques internes de la structure<br />telles que le type et les paramètres physiques des couches. Dans ce contexte, deux dispositifs<br />présentant des fonctionnalités distinctes se différencient tant au niveau du procédé technologique<br />(température de recuit, dose et énergie d'implantation...) que de la géométrie des masques. Les filières<br />technologiques figées n'étant pas adaptées, nous avons développé une filière technologique composée<br />d'étapes technologiques de base et d'étapes spécifiques optimisées et compatibles entre elles. Après<br />avoir présenté cette filière basée sur un processus de fabrication permettant un autoalignement par<br />rapport à une grille en polysilicium, nous avons optimisé les différentes étapes technologiques. Nous<br />nous sommes basé sur des structures MOS (N et P, à enrichissement et à déplétion) pour optimiser les<br />étapes relatives aux caissons P et aux canaux préformés. Les caractérisations électriques effectuées sur<br />ces dispositifs ont permis de valider ces étapes d'optimisation. L'ensemble des étapes spécifiques a<br />ensuite été optimisé tout en préservant la compatibilité technologique de l'ensemble. La dernière partie<br />a été consacrée à la validation de cette filière en réalisant des structures tests procédant du mode<br />d'intégration fonctionnelle. Les différentes étapes de conception, réalisation technologique et<br />caractérisation électrique sont détaillées afin de mettre en évidence l'intérêt de cette nouvelle filière<br />technologique.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:CCSD/oai:tel.archives-ouvertes.fr:tel-00131494 |
| Date | 20 September 2002 |
| Creators | Imbernon, Eric |
| Publisher | Université Paul Sabatier - Toulouse III |
| Source Sets | CCSD theses-EN-ligne, France |
| Language | French |
| Detected Language | French |
| Type | PhD thesis |
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