L'industrie de la téléphonie mobile est soumise à des contraintes de miniaturisation, et requiert de plus en plus la présence d'éléments variables dans les circuits intégrés. Le but de ce travail de thèse a été de réaliser une capacité variable pour une application de puissance dans un téléphone portable. Les matériaux ferroélectriques à structure pérovskite s'avèrent être potentiellement intéressants pour ce type d'application. Nous nous sommes donc intéressés à l'intégration du titanate de strontium et baryum ((Ba,Sr)TiO3) dans une capacité fonctionnant en gamme Radio Fréquences (typiquement autour de 2 GHz).<br /><br />La première partie du travail a été d'étudier les propriétés structurales et diélectriques du BST, avec pour but de les relier entre elles. Différentes études ont été menées dans cette partie, notamment sur les effets de taille de grains, de contraintes (homogènes et inhomogènes) dans les couches épaisses, de taille sur des couches minces de plusieurs épaisseurs, ou encore d'une cristallisation partielle sur la microstructure et les performances du matériau.<br /><br />Grâce à l'étude menée au niveau du matériau, nous avons pu proposer une intégration dans une architecture de capacité hybride RF/DC. L'optimisation du dépôt de BST a été faite par plans d'expériences, puis la réalisation de plusieurs dispositifs a permis d'observer différents effets sur le composant. L'influence du substrat de Silicium a été réduite grâce à différentes solutions. L'effet du recuit de cristallisation a été étudié sur la capacité RF. Enfin, nous avons montré la possibilité d'actionner indépendamment le matériau ferroélectrique par le biais d'électrodes DC.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:CCSD/oai:tel.archives-ouvertes.fr:tel-00373537 |
| Date | 16 December 2008 |
| Creators | Guigues, Benoit |
| Publisher | Ecole Centrale Paris |
| Source Sets | CCSD theses-EN-ligne, France |
| Language | French |
| Detected Language | French |
| Type | PhD thesis |
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