The dissertation covers circuits in the field of micro-system electronics working as an interface between micro-electromechanical components and digital signal processing. The important problems of signal crosstalk and multiplication of complexity arising in conjunction with sensor- and actuator-arrays are considered.
As a foundation for design the modeling of DMOS-transistors and system aspects of sensor-signal-recovery are discussed. The design and implementation of a high-voltage driver-amplifier, a modulator for sensor-signal-recovery, a correlation IC to read out arrays and a micromechanical resonator with monolithically integrated read-out-amplifier is presented. / Die Dissertation behandelt Schaltungen der Mikrosystemelektronik in ihrer Funktion als Schnittstelle zwischen mikromechanischen Komponenten und signalverarbeitender Digitalelektronik. Hierbei werden die für Sensor- und Aktorarrays besonderen Probleme Signalübersprechen und Aufwandsvervielfachung berücksichtigt.
Als Entwurfsgrundlage werden die Modellierung von DMOS-Transistoren und Systemaspekte der Sensorsignalauswertung besprochen. Vorgestellt wird der Entwurf und die Realisierung eines Hochvolt-Ansteuerverstärkers, eines Modulators zur Sensorauswertung, eines Korrelator-ICs zur Arraysauswertung und eines mikromechanischen Resonators mit monolithisch integriertem Ausleseverstärker.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:18087 |
| Date | 28 November 2003 |
| Creators | Symanzik, Horst-G. |
| Contributors | Technische Universität Chemnitz |
| Source Sets | Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden |
| Language | German |
| Detected Language | English |
| Type | doc-type:doctoralThesis, info:eu-repo/semantics/doctoralThesis, doc-type:Text |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
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