Technologieentwicklung für kapazitive Sensoren mit bewegten Komponenten

Description

This work is a contribution to technology development of capacitive microsensors with moved components, such as vacuum pressure sensors and angular rate sensors. It describes the sensor principles, Si microfabrication technologies and test results of prototypes. / Die Arbeit liefert einen Beitrag zur Technologieentwicklung für kapazitive mikromechanische Sensoren mit bewegten Komponenten (z.B. Vakuumsensoren und Drehratensensoren). Es werden Sensorprinzipien, Herstellungstechnologien und Testergebnisse von Prototypen beschrieben.

Links & Downloads

1. urn:nbn:de:swb:ch1-200401375
2. https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A18214
3. https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A18214/attachment/ATT-0/
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Tags

info:eu-repo/classification/ddc/620

ddc:620

Drehratensensor

Mikromechanik

Mikrosystemtechnik

Mikrotechnologie

Vakuumsensor

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:18214
Date	20 January 2004
Creators	Hiller, Karla
Contributors	Gessner, Thomas, Technische Universität Chemnitz
Source Sets	Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden
Language	German
Detected Language	German
Type	doc-type:doctoralThesis, info:eu-repo/semantics/doctoralThesis, doc-type:Text
Source	Habilitation Karla Hiller
Rights	info:eu-repo/semantics/openAccess