This work is a contribution to technology development of capacitive microsensors with moved components, such as vacuum pressure sensors and angular rate sensors. It describes the sensor principles, Si microfabrication technologies and test results of prototypes. / Die Arbeit liefert einen Beitrag zur Technologieentwicklung für kapazitive mikromechanische Sensoren mit bewegten Komponenten (z.B. Vakuumsensoren und Drehratensensoren). Es werden Sensorprinzipien, Herstellungstechnologien und Testergebnisse von Prototypen beschrieben.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa.de:swb:ch1-200401375 |
| Date | 16 September 2004 |
| Creators | Hiller, Karla |
| Contributors | TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, Prof. Dr. Dr. Prof. h.c. mult. Thomas Gessner |
| Publisher | Universitätsbibliothek Chemnitz |
| Source Sets | Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden |
| Language | deu |
| Detected Language | German |
| Type | doc-type:doctoralThesis |
| Format | application/pdf, text/plain, application/zip |
| Source | Habilitation Karla Hiller |
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