Os MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) compõem uma tecnologia que
tem ganhado destaque nas últimas décadas e sua difusão reflete um constante
crescimento tanto em aplicações quanto em volume financeiro envolvido. Um MEMS
de fundamental importância é o comb-drive. Várias são as áreas da indústria que se
beneficiam das virtudes deste microdispositivo. Confiabilidade, invisibilidade e
economia de energia são as principais qualidades desses sistemas. Os produtos
desta tecnologia representam um mercado emergente e que movimenta bilhões de
dólares anuais, contudo, há de se considerar a crescente exigência no quesito
qualidade por parte daqueles que a utilizam. A forma como estes dispositivos tem
sido testados, por amostragem, não garante esta qualidade com a segurança
desejada. Também cabe destacar que os testes precisam ser realizados de forma
rápida e com baixo custo. Este trabalho objetiva investigar um modelo matemático
que expresse uma dinâmica próxima daquela observada em MEMS, visando
contribuir para agilidade e qualidade dos testes. A técnica utilizada para encontrar os
regressores e o emprego de modelos não-lineares são as principais diferenças deste
trabalho em relação aos comumente encontrados na literatura no âmbito de MEMS.
As técnicas utilizadas são oriundas da identificação de sistemas. Por se tratar de
dispositivos com dimensões micrométricas, a coleta de dados reais torna-se inviável.
Assim, os dados foram obtidos através de ensaios em uma plataforma de testes
elaborada no software ANSYS®. De posse desses dados e considerando a estrutura
do modelo NARX foi possível a elaboração de uma série de modelos, cada um deles
com alguma diferença na estrutura. O método dos mínimos quadrados foi o
escolhido para estimação dos parâmetros. Os resultados obtidos para cada modelo
foram comparados aos coletados na plataforma. Esta comparação se deu na forma
qualitativa e quantitativa e com base nisso foi possível identificar um modelo
matemático acurado para a dinâmica não linear de dispositivos MEMS. / 98 f.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:IBICT/oai:bibliodigital.unijui.edu.br:123456789/2323 |
| Date | 06 August 2014 |
| Creators | Faccin, Emerson Luiz |
| Source Sets | IBICT Brazilian ETDs |
| Language | Portuguese |
| Detected Language | Portuguese |
| Type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/masterThesis |
| Format | application/pdf |
| Source | reponame:Repositório Institucional da UNIJUI, instname:Universidade Regional do Noroeste do Estado do Rio Grande do Sul, instacron:UNIJUI |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
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