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Previous issue date: 2006 / Foram desenvolvidas etapas de processo para fabricação de estruturas resistivas planares e circuitos de condicionamento com conversores e microcontroladores para a construção de sensores inteligentes de temperatura. O objetivo é integrar esse sensor a um sistema capaz de medir pressão para utilizar essas medidas na estimativa da vazão em ambientes agressivos, como em poços de petróleo. Para a medição da temperatura foi escolhida a tecnologia RTD planar, por poder ser fabricada utilizando técnicas de microeletrônica, o que permite projetar sua integração com outras partes do circuito em um mesmo chip ou como circuito híbrido em substrato cerâmico, além de ser de fabricação mais simples e precisa, permitindo fabricação em larga escala, reduzindo custos. O processo de fabricação foi realizado utilizando sistema de litografia óptica e evaporadora disponíveis na sala limpa do Laboratório de Dispositivos e Nanoestruturas. Para esse protótipo foi escolhido o níquel como material transdutor. Para melhorar as características do dispositivo, assim como diminuir a variância, aplicou-se técnicas de otimização estatística de processos. O RTD fabricado foi caracterizado quanto às dimensões, utilizando microscopia óptica e eletrônica e a resistividade foi caracterizada pela técnica das quatro pontas de prova, utilizando um impedancímetro. A avaliação do desempenho do RTD fabricado com relação à variação de temperatura foi realizada através de uma estação de testes com temperatura variável construída, auxiliada por impedancímetro e termopar calibrado. Nessa caracterização observou-se uma variação bastante linear do valor da resistência com a temperatura, próximo de valores obtidos com RTD comerciais, utilizados para comparação. Implementou-se uma configuração de sensor inteligente utilizando-se conversor analógico-digital e o microcontrolador PIC-16F88
| Identifer | oai:union.ndltd.org:IBICT/oai:repositorio.ufpe.br:123456789/5488 |
| Date | January 2006 |
| Creators | VASCONCELOS, Isabela Barreto |
| Contributors | SANTOS, Edval José Pinheiro |
| Publisher | Universidade Federal de Pernambuco |
| Source Sets | IBICT Brazilian ETDs |
| Language | Portuguese |
| Detected Language | Portuguese |
| Type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/masterThesis |
| Source | reponame:Repositório Institucional da UFPE, instname:Universidade Federal de Pernambuco, instacron:UFPE |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
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