Return to search

Estruturas eletricas para avaliação de parametros litograficos em um processo defabricação de circuitos integrados

Orientadores: Furio Damiani, Curt Ego Hennies / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica / Made available in DSpace on 2018-07-14T01:16:22Z (GMT). No. of bitstreams: 1
PavaniFilho_Aristides_M.pdf: 14207916 bytes, checksum: cab5d2cb9b178fff87610b099f513fb5 (MD5)
Previous issue date: 1991 / Resumo: Neste trabalho apresentamos um conjunto de estruturas elétricas de teste para avaliação de parâmetros litográficos para serem empregadas na avaliação de um processo industrial de fabricação de circuitos integrados. Três foram os parâmetros investigados. A largura de linha, O overlay e a densidade de defeitos. Os circuitos de teste foram produzidos em um fabricante de circuitos integrados no exterior como parte do Projeto Multiusuário PMUCMOS 4. coordenado pelo Centro Tecno1ógico para a Informática. Foram fabricados 50 circuitos de teste composto por 9 estruturas de teste, distribuídos em duas colunas de 26 circuitos, dos quais foram avaliados 20 circuitos por coluna. Os resultados obtidos nos permitiram: 1) Avaliar a precisão do método de medidas de parâmetros litografia através de estruturas elétricas de teste; 2) Avaliar a efetividade das estruturas propostas em revelar através dos parâmetros básicos de litografia, as estratégias empregadas pelo fabricante e os parâmetros do processo litográfico / Abstract: Not informed. / Mestrado / Mestre em Engenharia Elétrica

Identiferoai:union.ndltd.org:IBICT/oai:repositorio.unicamp.br:REPOSIP/259116
Date10 August 1990
CreatorsPavani Filho, Aristides
ContributorsUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS, Hennies, Curt Egon, 1938-, Damiani, Furio, 1943-2016
Publisher[s.n.], Universidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação, Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica
Source SetsIBICT Brazilian ETDs
LanguagePortuguese
Detected LanguagePortuguese
Typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/masterThesis
Format[220] f. : il., application/pdf
Sourcereponame:Repositório Institucional da Unicamp, instname:Universidade Estadual de Campinas, instacron:UNICAMP
Rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
Relation(Publicação FEE)

Page generated in 0.0019 seconds