Orientador : Carlos Ignacio Mammana / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas / Made available in DSpace on 2018-07-16T10:09:28Z (GMT). No. of bitstreams: 1
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Previous issue date: 1981 / Resumo: A litografia faz parte do conjunto de técnicas que concorrem para a fabricação de circuitos integrados em microeletrônica. Dentro do campo da litografia, a chamada litografia óptica é a técnica melhor estabelecida e a mais difundida. Seu uso implica na utilização de máscaras durante o processo de fotogravação. Essas máscaras podem ser obtidas a partir de reduções fotográficas de artes finais confeccionadas em "Rubylith" ou fotolito contendo a representação ampliada (100 a 200 vezes) das configurações desejadas. Neste trabalho é descrita a implantação de um sistema automático de desenho (SAD) para ser utilizado na geração dessas artes finais, tanto em "Rubylith" como em fotolito. O SAD é apresentado contendo três elementos: o de "hardware", o de "software" e o de óptica. O Elemento de "Hardware" além do controle elétrico engloba as partes mecânicas dos equipamentos, que compõem o SAD: coordenatógrafo com motivos de passo, adaptador de ferramenta de corte ou desenho ao coordenatógrafo, console, bastidor e leitora de fita de papel. O Elemento de "Software" engloba as sequências de instruções reconhecíveis pelo Elemento de Hardware" para gerar os desenhos desejados (PROGRAMAS DE DESENHO) e os programas (PROGRAMAS DE INTERFACE) que servem como meio de tradução dos dados de artes finais gerados por computador para a forma de PROGRAMAS DE DESENHO. O Elemento de óptica engloba ,a parte óptica do sistema para sensibilização de fotolito: uma fonte luminosa conectada a um módulo projetor por meio de um cabo de fibras ópticas / Abstract: Not informed / Mestrado / Mestre em Engenharia Elétrica
| Identifer | oai:union.ndltd.org:IBICT/oai:repositorio.unicamp.br:REPOSIP/260410 |
| Date | 16 July 2018 |
| Creators | Souza, Manoel Francisco de |
| Contributors | UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS, Mammana, Carlos Ignacio Zamitti, 1941-, Mammana, Carlos Ignacio |
| Publisher | [s.n.], Universidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia de Campinas, Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica |
| Source Sets | IBICT Brazilian ETDs |
| Language | Portuguese |
| Detected Language | Portuguese |
| Type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/masterThesis |
| Format | 1v. (varias paginações) : il., application/pdf |
| Source | reponame:Repositório Institucional da Unicamp, instname:Universidade Estadual de Campinas, instacron:UNICAMP |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
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