Einflüsse von Verunreinigungen im Silicium und in der Ätzlösung auf das anisotrope Ätzen von Silicium in wäßrigen KOH-Ätzlösungen

Description

Techn. Universiẗat, Diss., 2000--Berlin.

Links & Downloads

1. http://edocs.tu-berlin.de/diss/2000/hein_aylin.pdf
2. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=962059994

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Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/174700389
Creators	Hein, Aylin.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Type	Online-Publikation.