Hochauflösender mikromechanischer Sensor zur Erfassung von Oberflächenprofilen

Description

Techn. Universiẗat, Diss., 2005--Chemnitz.

Links & Downloads

1. http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2005/0013/index.html
2. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=974857947
3. http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2005/0013/data/Dissertation_Kotarsky_07.01.2005.pdf

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/179762433
Creators	Kotarsky, Ulf.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German