Faseroptisches Interferometer mit miniaturisierter Messsonde zur hochgenauen Prüfung geometrischer Merkmale /

Description

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss.

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/180745191
Date	January 2007
Creators	Depiereux, Frank.
Publisher	Düsseldorf : VDI-Verl.,
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German