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Beiträge zum isotropen nasschemischen Ätzmechanismus von Silicium in konzentrierten Flusssäure-Salpetersäure-Ätzmischungen

Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2007

  1. http://d-nb.info/987696254/04
Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/244027066
Date January 2007
CreatorsSteinert, Marco
PublisherBerlin Mensch-und-Buch-Verl.
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman

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