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Entwicklung eines neuartigen elektrischen Rasterkraftmikroskopie-Tests zur quantitativen Bestimmung von Gleich- und Wechselspannungen bis über 100 GHz in integrierten mikroelektronischen Schaltungen /

Univ.-Gesamthochsch., Diss.--Duisburg, 2000.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/248713028
Date January 2000
CreatorsWittpahl, Volker.
PublisherDüsseldorf : VDI-Verl.,
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman

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