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Herstellung und Charakterisierung amorpher SiCN-Schichten unter technologischen Aspekten in Hinblick auf tribologische Beanspruchung

Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss., 2007

  1. http://d-nb.info/989959066/04
Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/265730430
Date January 2007
CreatorsAllebrandt, Daniel
PublisherAachen Shaker
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman

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