Herstellung ultraschmaler Leitbahnen mit herkömmlichen Prozessen und Untersuchungen zum Pore Sealing bei porösen low-k Dielektrika

Description

Chemnitz, Techn. Univ., Diplomarb., 2005.

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1. http://www.bsz-bw.de/cgi-bin/xvms.cgi?SWB12103508

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/315041458
Date	January 2005
Creators	Bonitz, Jens,
Publisher	[S.l. : s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Type	Online-Publikation.