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Untersuchungen zum Cross-Magnetron-Effekt bei der reaktiven Indium-Zinnoxid-Abscheidung

Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2008.

  1. urn:nbn:de:bsz:ch1-200800783
Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/315904892
Date January 2008
CreatorsKleinhempel, Ronny,
Publisher[S.l. : s.n.],
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman

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