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Amélioration de la résolution en profondeur de l'analyse SIMS par déconvolution algorithmes spécifiques et application aux couches dopées ultra-minces de la micro-électronique silicium /

Thèse de doctorat : Dispositifs de l'électronique intégrée : Villeurbanne, INSA : 2001. / Thèse : 2001ISAL0016. Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr.p.179-184.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/491247796
Date January 2003
CreatorsMancina, Gérard Dupuy, Jean-Claude Prost, Rémy
PublisherVilleurbanne : Doc'INSA,
Source SetsOCLC
LanguageFrench
Detected LanguageFrench

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