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Procédés lithographiques pour les technologies des semi-conducteurs inférieures à 90nm de la synthèse à l'étude des mécanismes physicochimiques induisant la rugosité des motifs /

Thèse de doctorat : Chimie. Chimie-Physique : Strasbourg : 2009. / Thèse soutenue sur un ensemble de travaux. Titre provenant de l'écran-titre. Notes bibliogr.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/495418142
Date January 2009
CreatorsIsmailova, Esma Hadziioannou, Georges.
PublisherStrasbourg : Université de Strasbourg,
Source SetsOCLC
LanguageFrench
Detected LanguageFrench
SourceThèse électronique de l'Université de Strasbourg

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