Nanoimprint lithography as an alternative fabrication technique: towards applications in optics (Die Nanoprägelithographie als eine alternative Technologie im Hinblick auf die Herstellung von optischen Bauelementen) /

Description

Wuppertal, University, Diss., 2004.

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1. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=973072911
2. http://elpub.bib.uni-wuppertal.de/edocs/dokumente/fbe/elektrotechnik/diss2004/zankovych/de0406.pdf

Tags

Nanolithographie

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/76603640
Date	January 2004
Creators	Zankovych, Sergiy.
Publisher	[S.l. : s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	English
Detected Language	English
Source	LF