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Computersimulation der Dynamik von Schicht und Vorschicht bei der Plasmaimmersions-Ionenimplantation

Kaiserslautern, Universiẗat, Diss., 2002.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/76671689
Date January 1900
CreatorsBriehl, Boris.
Publisher[S.l. : s.n.,
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman
SourceLF

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