[pt] O presente trabalho tem por objetivo implantar um método
para calibração de sistema de medição linear por
interferometria laser por meio de comparação a um outro
sistema laser de referência. O referido método é
considerado mais simples que a calibração por componentes
realizada atualmente e, conforme demonstrado no trabalho,
apresenta confiabilidade metrológica que atende a
exatidão necessária para as aplicações dos laseres em
metrologia dimensional, vindo suprir uma necessidade
metrológica dos laboratórios credenciados pelo Instituto
Nacional de Metrologia, Normalização e Qualidade Industrial
(Inmetro) e do parque industrial brasileiro, usuários
destes sistemas de medição. A implantação do sistema para
calibração de lasers de medição foi baseada em normas
internacionais de calibração e de cálculo da incerteza de
medição e utilizou um sistema laser de referência calibrado
no Inmetro, com rastreabilidade a padrões nacionais, com as
menores incertezas possíveis. O método de medição
implantado realiza a calibração de um sistema laser por
comparação a outro utilizando medições feitas a partir do
deslocamento da mesa onde é a apoiado o prisma óptico. O
que é de fato analisado é a diferença das medições dos dois
sistemas laser para um mesmo deslocamento. Foram
registradas as diferenças das indicações de 200 mm em 200
mm de deslocamento, em um total de 2000 mm, que variaram de
0,027 µm a 0,690 µm. Foram realizadas três medições para
cada deslocamento e quatro repetições completas do
procedimento em dias diferentes, com variação do desvio
padrão de 0,009 µm a 0,098 µm e incertezas expandidas
que variaram de 0,109 µm a 0,306 µm. São apresentadas a
metodologia de calibração, cálculos das correções, fontes
de erros e cálculos da incerteza de medição para a
comparação de sistemas laseres de medição linear. / [en] The present work aims at the implementation of a
calibration method for interferometric linear laser
measurement systems by comparison to another reference
system. The proposed method is considered simpler than the
calibration by components that is carried out today at
Inmetro (National Institute of Metrology, Standardization
and Industrial Quality) and, as demonstrated along
this work, presents the metrological reliability and
accuracy necessary for several applications of lasers in
dimensional metrology. This approach will supply the
metrological needs of several laboratories accredited by
Inmetro and of the Brazilian industry in general, users of
such measurement systems, regarding cost and time of
calibration. The method implemented was based on
international technical standards related to calibration
and uncertainty calculation and used a reference system
calibrated at Inmetro, with traceability to national
standards, with the lowest uncertainties that could be
achieved. The said method performs the calibration of a
laser system by comparison to another through measurements
of the displacement of the table where the optical prism
rests. What is indeed analyzed is the difference of the
measurements obtained by the two laser systems for the same
table displacement. The differences were recorded for each
displacement of 200 mm, in a total of 2,000 mm, their
variation being from 0.027 µm to 0.690 µm. The whole
procedure was repeated four times, in different days,
with three measurements for each displacement. Their
standard deviation varied from 0.009 µm to 0.098 µm while
their expanded uncertainties varied from 0.109
µm to 0.306 µm depending on the value of the displacement.
The calibration methodology, correction calculation, errors
sources and measurement uncertainty calculations for the
linear measurement laser systems comparison are presented in
this dissertation.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:puc-rio.br/oai:MAXWELL.puc-rio.br:3657 |
| Date | 24 June 2003 |
| Creators | WELLINGTON SANTOS BARROS |
| Contributors | GREGORIO SALCEDO MUNOZ |
| Publisher | MAXWELL |
| Source Sets | PUC Rio |
| Language | Portuguese |
| Detected Language | Portuguese |
| Type | TEXTO |
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