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Mécanismes de collage direct de films de silicium polycristallin / Study of polysilicon thin films molecular bonding mechanisms

Résumé en français / Résumé en anglais

Identiferoai:union.ndltd.org:theses.fr/2011GRENI093
Date27 October 2011
CreatorsFeilleux, Romain
ContributorsGrenoble, Rieutord, François
Source SetsDépôt national des thèses électroniques françaises
LanguageFrench
Detected LanguageFrench
TypeElectronic Thesis or Dissertation, Text

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