Le transistor monoélectronique (SET) est un candidat que l'on croyait avoir la capacité de remplacer le transistor des circuits intégrés actuel (MOSFET). Pour des raisons de faible gain en voltage, d'impédance de sortie élevée et de sensibilité aux fluctuations de charges, il est considéré aujourd'hui qu'un hybride tirant profit des deux technologies est plus avantageux. En exploitant sa lacune d'être sensible aux variations de charge, le SET est davantage utilisé dans des applications où la détection de charge s'avère indispensable, notamment dans les domaines de la bio-détection et de l'informatique quantique. Ce mémoire présente une étude du transistor monoélectronique utilisé en tant que détecteur de charge. La méthode de fabrication est basée sur le procédé nanodamascène développé par Dubuc et al. [11] permettant au transistor monoélectronique de fonctionner à température ambiante. La température d'opération étant intimement liée à la géométrie du SET, la clé du procédé nanodamascène réside dans le polissage chimico-mécanique (CMP) permettant de réduire l'épaisseur des SET jusqu'à des valeurs de quelques nanamètres. Dans ce projet de maîtrise, nous avons cependant opté pour que le SET soit opéré à température cryogénique. Une faible température d'opération permet le relâchement des contraintes de dimensions des dispositifs. En considérant les variations de procédés normales pouvant survenir lors de la fabrication, la température d'opération maximale calculée en conception s'étend de 27 K à 90 K, soit une énergie de charge de 78 meV à 23 meV. Le gain du détecteur de charge étant dépendant de la distance de couplage, les résultats de simulations démontrent que cette distance doit être de 200 nm pour que la détection de charge soit optimale. Les designs conçus sont ensuite fabriqués sur substrat d'oxyde de silicium. Les résultats de fabrication de SET témoignent de la robustesse du procédé nanodamascène. En effet, les dimensions atteintes expérimentalement s'avèrent quasi identiques à celles calculées en conception. Les mesures électriques à basse température de SET fabriqués démontrent un blocage de Coulomb avec une énergie de charge de 10 meV et une température d'opération maximale de 10 K. Un effet de grille est aussi observé par l'application d'une tension sur la grille latérale et les électrodes d'un SET à proximité. Les paramètres extraits à partir du diamant de Coulomb sont en accord avec les géométries du transistor fabriqué, à l'exception de la capacité degrille et de couplage. Enfin, l'étude de la détection de charge est réalisée par simulation à partir de ces paramètres. Elle permet de conclure que la détection de charge peut être optimisée en augmentant les surfaces de couplage de l'électromètre.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:usherbrooke.ca/oai:savoirs.usherbrooke.ca:11143/6207 |
| Date | January 2013 |
| Creators | Richard, Jean-Philippe |
| Contributors | Drouin, Dominique |
| Publisher | Université de Sherbrooke |
| Source Sets | Université de Sherbrooke |
| Language | French |
| Detected Language | French |
| Type | Mémoire |
| Rights | © Jean-Philippe Richard |
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