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Search results

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1

プラズマプロセシング用SiH4のラジカル非発光種に関する研究

後藤, 俊夫, 稲葉, 成基, 羽根, 一博, 河野, 明広 03 1900 (has links)
科学研究費補助金 研究種目:一般研究(B) 課題番号:17520427 研究代表者:後藤 俊夫 研究期間:1985-1986年度
LIF法
電子衝突
ラジカル非発光種
Lifetime
Electron Collision
Non-Emissive Radical
Plasma Processing
生成断面積
寿命
Emission Cross Section
Si【H_4】
プラズマプロセシング
発光断面積
<SiH_4>
Level Excitation Cross Section
2

銅蒸気レ-ザの下準位原子の基礎過程に関する研究

後藤, 俊夫, 岸本, 茂, 河野, 明廣 03 1900 (has links)
科学研究費補助金 研究種目:一般研究(B) 課題番号:05452196 研究代表者:後藤 俊夫 研究期間:1993-1994年度
準安定原子
銅蒸気レ-ザ-
銅
飽和吸収分光
電子衝突脱励起
saturated absorption spectroscopy
Cu
拡散定数
electron collisional de-excitation
銅原子
レ-ザ-吸収分光
laser absorption spectroscopy
拡散係数
copper vapor laser
metastable atoms
diffusion coefficien

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