Made available in DSpace on 2015-05-08T15:00:03Z (GMT). No. of bitstreams: 1 arquivototal.pdf: 6635361 bytes, checksum: 14da0b5d0e9d4fb2821cb495e6d9fcfa (MD5) Previous issue date: 2010-08-23 / Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior / This work presents the state of the in vacuum technology which covers the fundamentals, devices for generating, measuring and major applications in precision engineering. Also, the design and development of vacuum tables applied to machine tool is shown. With regard to fundamentals, it is described the historical background, classical theories and classification of this technology by bands of applications. It is shown most widely used vacuum generators and gauges, showing their construction, operation and applications within various areas. Applications of vacuum technology in precision engineering that span the macro, micro and nano scales are presented, highlighting their importance in each application area. In addition, a methodology to design and development of vacuum tables to fixture workpieces in machine tools, is described and applied. The development of this methodology was motivated due lack of technical and scientific articles that concern the studies on vacuum tables with emphasis on its design parameters. In this work, vacuum tables with hollow, square and hexagonal cores were analyzed by considering two different magnitudes of machining forces. The displacement and stress that each vacuum table configuration is submitted were determined by using numeric simulation based on the finite element method for both machining conditions. / O presente trabalho trata do resgate da literatura sobre a tecnologia do vácuo englobando os seus fundamentos básicos, dispositivos de geração, medição e o estado da arte em aplicações na área de engenharia de precisão seguido de um projeto e desenvolvimento de mesas de vácuo aplicadas em máquinas-ferramenta. Com relação aos fundamentos, é descrito o seu contexto histórico, teorias clássicas e classificação desta tecnologia por faixas de aplicações. É mostrado os geradores e medidores de vácuo mais utilizados evidenciando a sua construção, funcionamento e aplicações dentro das mais variadas áreas. São apresentadas aplicações na engenharia de precisão que abrangem as escalas macro, micro e nano, ressaltando a importância da tecnologia do vácuo em cada aplicação. No projeto e desenvolvimento de mesas de vácuo, é descrita e aplicada uma metodologia própria que consiste em dimensionar mesas de vácuo capazes de fixar peças mediante a usinagem em máquinas-ferramenta. O desenvolvimento desta metodologia foi motivada em função da carência de artigos técnicos e científicos que concernem os estudos sobre mesas de vácuo dando ênfase aos seus parâmetros de projetos. São dimensionadas mesas de vácuo com núcleos vazados, quadrado e hexagonal em função de duas condições de usinagem que utilizam diferentes magnitudes de forças. Por meio de simulação numérica computacional, são avaliados os esforços de deslocamento e tensão em cada mesa de vácuo dimensionada, de forma a eleger uma mesa que atenda a critérios de rigidez, peso e homogeneização do fluxo de vácuo para cada magnitude de forças de usinagem.